雙面研磨機(jī)
YJ-16B5LC
產(chǎn)品介紹
雙面研磨機(jī)YJ-16B5LC
本機(jī)器主要用于碳化硅片、砷化鎵片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其它半導(dǎo)體材料的雙面高精度研磨，也適用于其它金屬、非金屬、光學(xué)玻璃等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨。因此在電子、儀器儀表、光學(xué)材料等行業(yè)里有著廣泛的應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)
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01
機(jī)器采用四電機(jī)驅(qū)動(dòng)，下盤、上盤、內(nèi)齒圈和太陽(yáng)輪分別由電機(jī)單獨(dú)驅(qū)動(dòng)；
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02
機(jī)器整體結(jié)構(gòu)緊湊，運(yùn)行平穩(wěn)，有效地縮短各傳動(dòng)軸的長(zhǎng)度，增加機(jī)器的機(jī)械剛度；
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03
電機(jī)采用變頻調(diào)速器控制，能在有效設(shè)置范圍內(nèi)以任意速度工作、停止、加速、減速；
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04
上盤裝置增加機(jī)械的安全裝置，在擺片、維修等狀態(tài)下不會(huì)因突然故障而下降，增加了安全性。
產(chǎn)品參數(shù)
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上、下盤尺寸φ1125×φ393×50(mm)
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游星輪數(shù)量5
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工件厚度M=3 Z=142
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工件直徑0.35~35mm
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上盤轉(zhuǎn)速/下盤轉(zhuǎn)速5~45rpm/5~48rpm
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太陽(yáng)輪轉(zhuǎn)速/內(nèi)齒圈轉(zhuǎn)速3~30rpm/3~24rpm
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內(nèi)齒圈、太陽(yáng)輪抬升行程35mm
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上盤壓力范圍≤ 500Kg
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上、下盤電機(jī)7.5kw 1450rpm/7.5kw 1450rpm
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太陽(yáng)輪電機(jī)/內(nèi)齒圈電機(jī)1.5kw 1450rpm/2.2kw 1450rpm
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升降電機(jī)/砂泵電機(jī)400w/250w
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電源/耗電量3相 380V／20KW
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氣源/耗氣量0.5~0.6Mpa/20xN(L/H)(N為每小時(shí)循環(huán)工作次數(shù))
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上、下盤平面度≤0.03mm
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下盤端跳/壓力控制精度≤0.02mm/≤±5Kg
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外形尺寸2350×1660×2550 (mm)
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機(jī)器重量~6000Kg
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